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前级泵用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。主要是帮助主泵罗茨真空泵启动,罗茨真空泵一般情况下不能在常压下启动,如果要启动电机功率相当大,而且对泵的运行有伤害。而且通过配用不同的前级泵可以运用到不同的环境。如配用水环式真空泵,就可以抽除含有大量可凝性蒸气和带有一定腐蚀性的气体(通过水稀释腐蚀性气体浓度)。